J9九游会产品
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产品特点：
独有的空气节流技术，抑制高压供气气锤振动和微观波动
非接触性，零摩擦
全闭式气浮导轨，具有极高的刚度和出色的几何特性
优异的承载能力，高达200KG
分辨率1nm，重复定位精度±0.1μm，定位精度±0.3μm
行程最长可达500mm
适用于激光加工、3D打印、晶圆检测等超高运动精度场景
平台参数：
平台型号 | Diamond H (高刚度系列) | |||||
有效行程 | mm | 50 | 100 | 200 | 300 | 500 |
定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.4 |
重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
Pitch/Yaw/Roll | arc sec | ±1 | ±1 | ±2 | ±2 | ±2 |
直线度 | μm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 |
平面度 | μm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 |
平台重量 | kg | 19.5 | 20.5 | 23 | 24 | 30 |
最大负载 | kg | 35~100 | ||||
分辨率 | nm | 1 | ||||
最大速度 | mm/s | 2000 | ||||
最大加速度 | g | 2 | ||||
工作气压 | Mpa | 0.55±0.05 | ||||
平台材质 | 铝合金/花岗岩/陶瓷 | |||||
平均无故障时间 | h | 30000 | ||||
备注：
测试高度距台面25 毫米；
为了保护空气轴承免受欠压，建议在运动控制器/放大器输入端连接一个在线压力开关。
空气供应必须清洁，干燥至 0°F 露点，过滤至0.5μ m 或更好。
对于 XY 配置，最大上轴行程为 200mm。对于上轴行程大于 200mm 但等于或小于 500mm，则需要Diamond-HW 作为下轴。
总线电压最高：220VDC
限位开关电压：5V
Diamond H200系列尺寸图：
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