定位精度

µ m

±0.3

±0.4

±0.5

±0.6

±0.8

重复精度

µ m

±0.1

±0.15

±0.2

±0.25

±0.3

直线度

µ m

±0.2

±0.25

±0.5

±0.7

±0.9

最大速度

mm/s

1000

1000

1000

1000

1000

平面度

µ m

±0.2

±0.25

±0.5

±0.7

±0.9

Pitch/Yaw/Roll

arcs sec

±0.5

±1.0

±1.5

±1.5

±3.0

最大加速度

g

1

1

1

1

1

最大出力

N

252

流量

L/min

3

材料

不锈钢

移动质量

Kg

15

工作压力

Mpa

0.5 - 4

承载

Kg

400